PSV系列室温真空探针台，可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座，升级成高温真空探针台。高温测试时，通过温控仪的PID闭环回路实现精确控温，温度范围：室温-800K（500K可选）；通过外接不同的电学测量仪器，可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台，它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能，为新材料的研发和应用提供关键的数据保证。
PSV系列室温真空探针台，可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座，升级成高温真空探针台。高温测试时，通过温控仪的PID闭环回路实现精确控温，温度范围：室温-800K（500K可选）；通过外接不同的电学测量仪器，可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台，它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能，为新材料的研发和应用提供关键的数据保证。
特点
• 真空腔极限真空度能够达到~10-4Torr。
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。
• 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。
• 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大2英寸样品的测试。
• 标配四个直流探臂，最多可安装六个探针臂，可以选配：微波探针臂、光纤探针臂、热电偶探针臂。
• 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA@1V@300K-800K。
• 温度范围可扩展，安装高温选件后，最大支持300K-800K连续变温。
型号分类：
| 型号 | 样品座尺寸 |
| PSV-2 | 2英寸 |
参数和指标：
| 样品座 | |
| 样品座类型及材质： | 无氧铜接地样品座 |
| 尺寸： | 2/4英寸 |
| 可选配置： | 接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座 |
| 探针臂组件 | |
| 类型： | 直流探针臂 |
| 数量： | 4个 |
| 接头和线缆： | 三同轴接头 |
| 漏电流： | 100fA@1V真空环境 |
| 信号频率： | 直流~50MHz 交流 |
| 匹配阻抗： | 50 Ω |
| 探针针尖直径： | 100μm铍铜探针 |
| 位移行程： | X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10° |
| 读数精度： | 10μm |
| 光学系统 | |
| 显微镜放大倍数： | 10~180 倍 |
| 分辨率： | 3μm |
| 视野范围： | 可到 22mm |
| 显微镜工作距离： | 90~100mm |
| 显微镜支架升级行程： | 65mm |
| 真空腔体 | |
| 材料： | 铝合金 |
| 腔体容积： | 4/6L |
| 外形尺寸： | 800*800*600 |
| 腔体入口尺寸： | Ø124mm |
| 可视窗口尺寸： | 50mm |
| 真空度： | 5E-4 torr |
| 真空抽口： | KF25法兰 |
| 真空腔体窗片： | 红外绝热材质 |
| 防辐射屏窗片： | 石英材质 |
| 充气阀接口： | Ø8 快拆接头 |
| 预留接口： | 2个探针臂接口，2个电学接口 |
| 减振支架（选件） | |
| 尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换 | |
